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¿Cuál es el principio de funcionamiento de los equipos de recubrimiento al vacío?
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A: Utiliza la tecnología de deposición física de vapor (PVD) o deposición química de vapor (CVD) para vaporizar los materiales objetivo en una cámara de vacío y depositarlos uniformemente sobre sustratos, formando recubrimientos funcionales a nanoescala.
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¿Qué mantenimiento rutinario requiere el equipo?
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A: 1) Limpie los residuos de la cámara de vacío cada 50 horas de funcionamiento; 2) Compruebe mensualmente los niveles de aceite de la bomba mecánica y la integridad de los sellos; 3) Calibre trimestralmente los sistemas de monitorización del espesor de la película. Se recomienda el uso de consumibles originales para un rendimiento óptimo.
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¿Qué materiales se pueden recubrir con este equipo?
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A: Compatible con metales (Al/Ti), cerámica (Si3N4), polímeros, etc. Tamaño máximo del sustrato: Φ300 mm × 500 mm. Admite el recubrimiento en piezas de trabajo de forma irregular.
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¿Cuál es el consumo energético del equipo?
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A: Los modelos estándar tienen una potencia nominal de 15 kW con un modo de ahorro de energía inteligente que reduce el consumo en modo de espera en un 40 %. El funcionamiento a plena carga cuesta aproximadamente 9 ¥/hora (basado en una tarifa industrial de 0,6 ¥/kWh).
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¿Cómo solucionar problemas de procesos anómalos?
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A: 1) Compare las curvas de proceso recientes de 10 lotes a través de HMI; 2) Utilice un detector de fugas de vacío para verificar el sellado de la cámara; 3) Póngase en contacto con el soporte técnico para el diagnóstico remoto (disponibilidad 24/7).
HD500
