HD500: Nuevo equipo de recubrimiento iónico compuesto de la serie HD.
Grabado lateral único
√ Uniformidad excepcional en el grabado lateral
√ Excelente propiedad de voladizo de grabado y mantenimiento conveniente
Pulverización catódica por magnetrón HiPIMS compuesta
√ Equipado con fuentes DC + HiPIMS MS, garantiza altas tasas de deposición al tiempo que cumple con los requisitos de energía para depositar metales refractarios como Nb, BC, W, V, etc., y es capaz de depositar casi todos los materiales.
Fuente multiarco optimizada para plasma
√ Equipado con 3 grupos de 6 fuentes de objetivo circulares multiarco, el mecanismo de iniciación de arco oculto es fiable y fácil de mantener.
√ Permite la fácil deposición de películas delgadas multicapa y con múltiples elementos.
√ La fuente de plasma multiarco optimizada garantiza una superficie de película delgada más lisa.
√ La tasa de utilización del material objetivo es extremadamente alta.
Múltiples plataformas tecnológicas de deposición
√ Permite realizar múltiples tecnologías de deposición de películas delgadas en la misma plataforma, incluyendo DC MS + HiPIMS MS + recubrimiento iónico de arco múltiple, y puede implementar métodos de recubrimiento simples, compuestos y mixtos en el mismo lote.
| Nombre | Parámetro |
| Tecnología de recubrimiento | Tecnología de recubrimiento compuesto totalmente nueva |
| Aguafuerte | Fuente de iones lateral (filamento caliente) |
| Fuentes de arcos múltiples (número) | 6 |
| Cátodos de magnetrón (número) | 1 |
| Tamaño del equipo (mm) | largo3400*ancho1600*alto2600 |
| Volumen de la cámara (m³) | 0,7 |
| Área de recubrimiento efectiva (mm) | Ф410*400 |
| Temperatura máxima de funcionamiento (℃) | 700 |
| Capacidad de carga (número de árboles) | 5 |
| Carga de la cuchilla (APMT1135) | 6000 unidades |
| Capacidad de carga de la pala de la varilla (D4*50L) | 1800 unidades |
| Peso máximo de carga (KG) | 300 |
| Diámetro del eje | F130 |
| Tiempo de procesamiento | AlTiN: 6~8 h |


HD500
